As halfgeleideren micro-elektronische technologieën zich ontwikkelen in de richting van hogere prestaties en hogere integratie, er worden hogere eisen gesteld aan de zuiverheid van elektronische speciale gassen. Hoogzuivere gasleidingtechnologie is een belangrijk onderdeel van het hoogzuivere gastoevoersysteem. Het is de sleuteltechnologie voor het leveren van hoogzuivere gassen die voldoen aan de eisen voor de gasverbruikspunten, terwijl de gekwalificeerde kwaliteit behouden blijft.
Hoogzuivere leidingtechnologie omvat het juiste ontwerp van het systeem, de selectie van buisfittingen en hulpmaterialen, constructie en installatie en testen.
01Algemeen concept van gastransmissieleidingen
Alle zeer zuivere en zeer zuivere gassen moeten via pijpleidingen naar het terminalgaspunt worden getransporteerd. Om aan de proceskwaliteitseisen voor gas te voldoen, wanneer de gasexportindex zeker is, is het meer noodzakelijk om aandacht te besteden aan de materiaalkeuze en constructiekwaliteit van het leidingsysteem. Naast de nauwkeurigheid van de gasproductie- of zuiveringsapparatuur, wordt deze grotendeels beïnvloed door vele factoren van het pijpleidingsysteem. Daarom moet de selectie van buizen voldoen aan de relevante principes van de zuiveringsindustrie en moet het materiaal van de buizen in de tekeningen worden aangegeven.
02Het belang van hoogzuivere pijpleidingen voor het gastransport
Het belang van hoogzuivere pijpleidingen voor het transport van hoogzuiver gas. Tijdens het smeltproces van roestvrij staal kan elke ton ongeveer 200 gram gas absorberen. Nadat het roestvrij staal is verwerkt, blijven er niet alleen verschillende verontreinigende stoffen op het oppervlak plakken, maar wordt er ook een bepaalde hoeveelheid gas geabsorbeerd in het metaalrooster. Wanneer er een luchtstroom door de pijpleiding gaat, zal het deel van het gas dat door het metaal wordt geabsorbeerd opnieuw in de luchtstroom terechtkomen en het zuivere gas vervuilen.
Wanneer de luchtstroom in de leiding discontinu is, vormt de leiding drukadsorptie op het passerende gas. Wanneer de luchtstroom stopt met passeren, vormt het door de pijp geadsorbeerde gas een drukreductieanalyse en komt het geanalyseerde gas ook als onzuiverheid in het zuivere gas in de pijp.
Tegelijkertijd zorgt de adsorptie- en analysecyclus ervoor dat het metaal op het binnenoppervlak van de buis een bepaalde hoeveelheid poeder produceert. Dit metaalstofdeeltje vervuilt ook het zuivere gas in de leiding. Dit kenmerk van de pijp is erg belangrijk. Om de zuiverheid van het getransporteerde gas te garanderen, is het niet alleen vereist dat het binnenoppervlak van de buis een extreem hoge gladheid heeft, maar ook dat deze een hoge slijtvastheid heeft.
Wanneer het gas sterke corrosieve eigenschappen heeft, moeten corrosiebestendige roestvrijstalen buizen als leidingen worden gebruikt. Anders zullen er als gevolg van corrosie corrosievlekken op het binnenoppervlak van de buis verschijnen. In ernstige gevallen zullen grote stukken metaal loslaten of zelfs perforeren, waardoor het zuivere gas dat wordt getransporteerd, wordt verontreinigd.
03Leidingmateriaal
De materiaalkeuze van de buis moet worden gekozen op basis van de gebruiksbehoeften. De kwaliteit van de buis wordt doorgaans gemeten aan de hand van de ruwheid van het binnenoppervlak van de buis. Hoe lager de ruwheid, hoe kleiner de kans dat er deeltjes worden vervoerd. Over het algemeen verdeeld in drie typen:
Eén welEP-kwaliteit 316L buis, dat elektrolytisch gepolijst is (Electro-Polish). Het is corrosiebestendig en heeft een lage oppervlakteruwheid. Rmax (maximale piek-dalhoogte) is ongeveer 0,3 μm of minder. Het heeft de hoogste vlakheid en het is niet gemakkelijk om micro-wervelstromen te vormen. Verontreinigde deeltjes verwijderen. Het reactiegas dat bij het proces wordt gebruikt, moet op dit niveau worden doorgesluisd.
Eén is eenBA-klasse 316Lpijp, die is behandeld door Bright Anneal en vaak wordt gebruikt voor gassen die in contact staan met de chip maar niet deelnemen aan de procesreactie, zoals GN2 en CDA. Eén daarvan is AP-buis (Annealing & Picking), die niet speciaal is behandeld en doorgaans wordt gebruikt voor dubbele sets buitenleidingen die niet als gastoevoerleidingen worden gebruikt.
04 Pijpleidingbouw
De verwerking van de buismond is een van de kernpunten van deze bouwtechnologie. Het doorsnijden en prefabriceren van de pijpleiding wordt uitgevoerd in een schone omgeving en tegelijkertijd wordt ervoor gezorgd dat er vóór het doorsnijden geen schadelijke vlekken of schade op het oppervlak van de pijpleiding ontstaan. Voordat de pijpleiding wordt geopend, moeten voorbereidingen worden getroffen voor het spoelen van stikstof in de pijpleiding. In principe wordt lassen gebruikt om de zeer zuivere en zeer zuivere gastransmissie- en distributiepijpleidingen met een grote stroom aan te sluiten, maar direct lassen is niet toegestaan. Er moeten behuizingsverbindingen worden gebruikt en het gebruikte buismateriaal mag tijdens het lassen geen structuurverandering ondergaan. Als het materiaal met een te hoog koolstofgehalte wordt gelast, zal de luchtdoorlaatbaarheid van het lasonderdeel ervoor zorgen dat het gas binnen en buiten de buis elkaar binnendringt, waardoor de zuiverheid, droogheid en reinheid van het transportgas wordt vernietigd, wat tot ernstige gevolgen zal leiden en de productiekwaliteit beïnvloeden.
Samenvattend moet voor hoogzuivere gas- en speciale gastransportleidingen een speciaal behandelde, hoogzuivere roestvrijstalen buis worden gebruikt, waardoor het hoogzuivere pijpleidingsysteem (inclusief pijpleidingen, buisfittingen, kleppen, VMB, VMP) een plaats in beslag neemt. cruciale missie in de distributie van hoogzuiver gas.
Posttijd: 26 november 2024