As halfgeleiderEn micro-elektronische technologieën ontwikkelen zich naar hogere prestaties en integratie, waardoor er hogere eisen worden gesteld aan de zuiverheid van elektronische speciale gassen. Hoogzuivere gasleidingtechnologie is een belangrijk onderdeel van het hoogzuivere gastoevoersysteem. Het is de sleuteltechnologie voor de levering van hoogzuivere gassen die voldoen aan de eisen voor de gasverbruikspunten, terwijl de gekwalificeerde kwaliteit behouden blijft.
Hoogzuivere leidingtechnologie omvat het juiste ontwerp van het systeem, de selectie van buisfittingen en hulpmaterialen, constructie, installatie en testen.
01Algemeen concept van gastransportleidingen
Alle gassen met een hoge zuiverheid en zuiverheid moeten via pijpleidingen naar het eindpunt worden getransporteerd. Om te voldoen aan de proceskwaliteitseisen voor gas, is het, wanneer de gasexportindex vaststaat, noodzakelijker om aandacht te besteden aan de materiaalkeuze en de constructiekwaliteit van het leidingsysteem. Naast de nauwkeurigheid van de gasproductie- of zuiveringsapparatuur, wordt deze sterk beïnvloed door vele factoren van het leidingsysteem. Daarom moet de selectie van leidingen voldoen aan de relevante principes van de zuiveringsindustrie en moet het materiaal van de leidingen in de tekeningen worden aangegeven.
02Het belang van pijpleidingen met een hoge zuiverheidsgraad bij gastransport
Het belang van hoogzuivere pijpleidingen voor het transport van hoogzuiver gas. Tijdens het smeltproces van roestvrij staal kan elke ton ongeveer 200 g gas absorberen. Nadat het roestvrij staal is verwerkt, hechten zich niet alleen verschillende verontreinigende stoffen aan het oppervlak, maar wordt er ook een bepaalde hoeveelheid gas geabsorbeerd in het metaalrooster. Wanneer er lucht door de pijpleiding stroomt, komt het deel van het gas dat door het metaal is geabsorbeerd weer in de luchtstroom terecht en verontreinigt het zuivere gas.
Wanneer de luchtstroom in de pijp onderbroken is, ontstaat er drukadsorptie in de pijp op het gas dat erdoorheen stroomt. Wanneer de luchtstroom stopt, ontstaat er drukverlaging in het door de pijp geadsorbeerde gas, en het geanalyseerde gas komt ook als onzuiverheid in het zuivere gas in de pijp terecht.
Tegelijkertijd zorgt de adsorptie- en analysecyclus ervoor dat het metaal aan de binnenkant van de buis een bepaalde hoeveelheid poeder produceert. Deze metaalstofdeeltjes vervuilen ook het zuivere gas in de buis. Deze eigenschap van de buis is zeer belangrijk. Om de zuiverheid van het getransporteerde gas te garanderen, is niet alleen een extreem gladde binnenkant van de buis vereist, maar ook een hoge slijtvastheid.
Wanneer het gas sterk corrosieve eigenschappen heeft, moeten corrosiebestendige roestvrijstalen leidingen worden gebruikt. Anders ontstaan er corrosievlekken aan de binnenkant van de leiding. In ernstige gevallen kunnen grote stukken metaal loskomen of zelfs perforeren, waardoor het getransporteerde zuivere gas verontreinigd raakt.
03Pijpmateriaal
De materiaalkeuze van de buis moet worden afgestemd op de gebruiksbehoeften. De kwaliteit van de buis wordt over het algemeen gemeten aan de hand van de ruwheid van het binnenoppervlak. Hoe lager de ruwheid, hoe kleiner de kans dat er deeltjes in terechtkomen. Over het algemeen worden deze onderverdeeld in drie typen:
Eén isEP-klasse 316L-buis, dat elektrolytisch gepolijst is (Electro-Polish). Het is corrosiebestendig en heeft een lage oppervlakteruwheid. Rmax (maximale piek-dalhoogte) is ongeveer 0,3 μm of minder. Het heeft de hoogste vlakheid en is moeilijk te vormen door micro-wervelstromen. Verwijder verontreinigde deeltjes. Het reactiegas dat in het proces wordt gebruikt, moet op dit niveau worden aangevoerd.
Eén is eenBA-klasse 316LPijp, die is behandeld met Bright Anneal en vaak wordt gebruikt voor gassen die in contact komen met de chip maar niet deelnemen aan de procesreactie, zoals GN2 en CDA. Een voorbeeld is AP-pijp (Annealing & Picking), die niet speciaal is behandeld en over het algemeen wordt gebruikt voor dubbele sets buitenpijpen die niet als gastoevoerleidingen worden gebruikt.
04 Pijpleidingconstructie
De verwerking van de pijpmond is een van de belangrijkste aspecten van deze bouwtechnologie. Het snijden en de prefabricage van de pijpleiding vinden plaats in een schone omgeving en tegelijkertijd wordt gewaarborgd dat er geen schadelijke vlekken of beschadigingen op het oppervlak van de pijpleiding achterblijven vóór het snijden. Voorbereidingen voor het spoelen met stikstof in de pijpleiding moeten worden getroffen vóór het openen van de pijpleiding. In principe wordt lassen gebruikt om hoogzuivere en zeer schone gastransport- en distributieleidingen met een grote doorstroming te verbinden, maar direct lassen is niet toegestaan. Mantelverbindingen moeten worden gebruikt en het gebruikte pijpmateriaal mag tijdens het lassen geen structuurverandering ondergaan. Als materiaal met een te hoog koolstofgehalte wordt gelast, zal de luchtdoorlatendheid van het lasdeel ervoor zorgen dat het gas in en buiten de pijp elkaar doordringen, waardoor de zuiverheid, droogte en reinheid van het transportgas worden aangetast, wat ernstige gevolgen zal hebben en de productiekwaliteit zal aantasten.
Kortom, voor leidingen voor hoogzuiver gas en speciale gastransportleidingen moet een speciaal behandelde, hoogzuivere roestvrijstalen buis worden gebruikt. Hierdoor vervult het hoogzuivere pijpleidingsysteem (inclusief leidingen, buiskoppelingen, kleppen, VMB, VMP) een essentiële rol in de distributie van hoogzuiver gas.
Plaatsingstijd: 26-11-2024