1. Definitie van bulkgassysteem:
Opslag en drukcontrole van inerte gassen Gassoorten: Typische inerte gassen (stikstof, argon, perslucht, enz.)
Pijpleidinggrootte: Van 1/4 (bewakingspijpleiding) tot 12 inch hoofdpijpleiding
De belangrijkste producten van het systeem zijn: membraanklep/balgklep/kogelklep, zeer zuivere connector (VCR, lasvorm), ferrule-connector, drukregelklep, manometer, enz.
Momenteel omvat het nieuwe systeem ook een speciaal bulkgassysteem, waarbij gebruik wordt gemaakt van vaste gasflessen of tankwagens voor opslag en transport.
2. Definitie van het zuiveringssysteem:
Verwijdering van onzuiverheden uit bulkgassen voor hoogzuivere gasleidingen
3. Definitie van gaskasten:
Zorg voor drukregeling en stroombewaking voor speciale gasbronnen (giftige, ontvlambare, reactieve, corrosieve gassen) en heb de mogelijkheid om gascilinders te vervangen.
Locatie: Gelegen op de Subfabvloer of de onderste verdieping voor opslag van speciale gassen. Bron: NF3, SF6, WF6, etc.
Pijpleidinggrootte: interne gaspijpleiding, doorgaans 1/4 inch voor procespijpleiding, 1/4-3/8 inch voornamelijk voor zeer zuivere stikstofzuiveringspijpleiding.
Belangrijkste producten: Hoogzuivere membraankleppen, terugslagkleppen, manometers, manometers, hoogzuivere connectoren (VCR, lasvorm) Deze gaskasten bevatten in principe automatische schakelmogelijkheden voor cilinders om een continue gastoevoer en veilige vervanging van cilinders te garanderen.
4. Distributiedefinitie:
De gasbron aansluiten op de gasopvangspiraal
Lijngrootte: In de chipfabriek varieert de grootte van de bulkgasdistributiepijpleiding over het algemeen van 1/2 inch tot 2 inch.
Verbindingsvorm: speciale gasleidingen worden over het algemeen verbonden door middel van lassen, zonder enige mechanische verbinding of andere bewegende delen, voornamelijk omdat de lasverbinding een sterke afdichtingsbetrouwbaarheid heeft.
In een chipfabriek zijn honderden kilometers buizen aangesloten om gas te transporteren, die in principe zo'n zes meter lang zijn en aan elkaar zijn gelast. Sommige buisbochten en buislasverbindingen komen ook veel voor.
5. Multifunctionele kleppenkast (Valve Manifold Box, VMB) Definitie:
Het is bedoeld om speciale gassen van de gasbron naar verschillende apparatuuruiteinden te distribueren.
Interne pijpleidinggrootte: 1/4 inch procespijpleiding en 1/4 - 3/8 inch zuiveringspijpleiding. Het systeem kan computerbesturing gebruiken om bediende kleppen te vereisen of om goedkopere situaties met handmatige kleppen te vereisen.
Systeemproducten: hoogzuivere membraankleppen/balgkleppen, terugslagkleppen, hoogzuivere verbindingen (VCR, micro-lasvorm), drukregelkleppen, manometers en manometers, etc. Voor de distributie van sommige inerte gassen is het Valve Manifold Panel - Er wordt voornamelijk VMP (multifunctionele klepschijf) gebruikt, dat een open gasschijfoppervlak heeft en geen gesloten ruimteontwerp en extra stikstofspoeling vereist.
6. Secundaire klepplaat/kast (gereedschapsaansluitingspaneel) Definitie:
Sluit het gas dat nodig is voor de halfgeleiderapparatuur aan van de gasbron naar het uiteinde van de apparatuur en zorg voor overeenkomstige drukregeling. Dit paneel is een gasregelsysteem dat zich dichter bij de apparatuurzijde bevindt dan de VMB (multifunctionele kleppenkast).
Afmeting gasleiding: 1/4 - 3/8 inch
Afmeting vloeistofpijpleiding: 1/2 - 1 inch
Afmeting afvoerleiding: 1/2 - 1 inch
Belangrijkste producten: membraanklep / balgklep, eenrichtingsklep, drukregelklep, manometer, manometer, zeer zuivere verbinding (VCR, microlassen), ferruleverbinding, kogelkraan, slang, enz.
Posttijd: 22 november 2024