1. Definitie van een bulkgassysteem:
Opslag en drukregeling van inerte gassen. Soorten gassen: Typische inerte gassen (stikstof, argon, perslucht, enz.).
Pijpleidingdiameter: van 1/4 inch (monitoringspijpleiding) tot 12 inch hoofdpijpleiding.
De belangrijkste producten van het systeem zijn: membraanventiel/balgventiel/kogelventiel, hoogzuivere connector (VCR, lasvorm), ferruleconnector, drukregelventiel, manometer, enz.
Het nieuwe systeem omvat momenteel ook een systeem voor de opslag en het transport van speciale gassen in bulk, waarbij gebruik wordt gemaakt van vaste gasflessen of tankwagens.
2. Definitie van een zuiveringssysteem:
Verwijdering van onzuiverheden uit bulkgassen voor pijpleidingen voor hoogzuiver gas.
3. Definitie van gaskasten:
Zorg voor drukregeling en debietbewaking voor speciale gasbronnen (giftige, brandbare, reactieve en corrosieve gassen) en de mogelijkheid om gasflessen te vervangen.
Locatie: Gelegen op de onderverdieping van de subfabriek voor de opslag van speciale gassen. Bron: NF3, SF6, WF6, enz.
Pijpleidingdiameter: Interne gaspijpleidingen, over het algemeen 1/4 inch voor procesleidingen, 1/4-3/8 inch voornamelijk voor leidingen voor het spoelen met zeer zuivere stikstof.
Hoofdproducten: Hoogzuivere membraanventielen, terugslagkleppen, manometers, drukmeters, hoogzuivere connectoren (VCR, lasvorm). Deze gaskasten beschikken in principe over automatische schakelmogelijkheden voor gasflessen om een continue gastoevoer en veilige vervanging van gasflessen te garanderen.
4. Definitie van distributie:
De gasbron aansluiten op de gasopvangspiraal
Leidingdiameter: In de chipfabriek varieert de diameter van de gasdistributieleiding doorgaans van 1/2 inch tot 2 inch.
Aansluitingsvorm: Speciale gaspijpleidingen worden over het algemeen door middel van lassen verbonden, zonder mechanische verbindingen of andere bewegende onderdelen, voornamelijk omdat een lasverbinding een zeer betrouwbare afdichting biedt.
In een chipfabriek liggen honderden kilometers aan leidingen voor het transport van gas. Deze leidingen zijn doorgaans zo'n zes meter lang en aan elkaar gelast. Ook bochten in de leidingen en lasverbindingen zijn heel gebruikelijk.
5. Multifunctionele ventielkast (Valve Manifold Box, VMB) Definitie:
Het doel is om speciale gassen van de gasbron naar verschillende uiteinden van de apparatuur te distribueren.
Interne leidingdiameter: 1/4 inch procesleiding en 1/4 - 3/8 inch spoelleiding. Het systeem kan computergestuurd zijn met geautomatiseerde kleppen of, in kostenbesparende situaties, met handmatige kleppen.
Systeemproducten: hoogzuivere membraanventielen/balgventielen, terugslagkleppen, hoogzuivere verbindingen (VCR, microlasvorm), drukregelventielen, manometers, enz. Voor de distributie van sommige inerte gassen wordt hoofdzakelijk het ventielverdeelpaneel - VMP (multifunctioneel ventielschijf) gebruikt, dat een open gasdoorlatend oppervlak heeft en geen gesloten ruimte of extra stikstofspoeling vereist.
6. Secundaire ventielplaat/kast (gereedschapsaansluitpaneel) Definitie:
Sluit het gas dat nodig is voor de halfgeleiderapparatuur aan vanaf de gasbron naar de apparatuur en zorg voor de bijbehorende drukregeling. Dit paneel is een gasregelsysteem dat zich dichter bij de apparatuur bevindt dan de VMB (multifunctionele ventielkast).
Diameter van de gasleiding: 1/4 - 3/8 inch
Diameter van de vloeistofleiding: 1/2 - 1 inch
Diameter van de afvoerleiding: 1/2 - 1 inch
Belangrijkste producten: membraanventiel/balgventiel, terugslagklep, drukregelventiel, manometer, drukmeter, hoogzuivere verbinding (VCR, microlassen), ferruleverbinding, kogelkraan, slang, enz.
Geplaatst op: 22 november 2024