1. Definitie van bulkgassysteem:
Opslag en drukregeling van inerte gassen Gassoorten: Typische inerte gassen (stikstof, argon, perslucht, enz.)
Pijpleidinggrootte: van 1/4 (monitoringpijpleiding) tot 12-inch hoofdleiding
De belangrijkste producten van het systeem zijn: membraanafsluiter/balgafsluiter/kogelkraan, hoogzuivere connector (VCR, lasmal), ferrule-connector, drukregelventiel, manometer, enz.
Momenteel omvat het nieuwe systeem ook een speciaal bulkgassysteem, dat gebruikmaakt van vaste gascilinders of tankwagens voor opslag en transport.
2. Definitie van zuiveringssysteem:
Verwijdering van onzuiverheden uit bulkgassen voor gasleidingen met hoge zuiverheid
3. Definitie van gaskasten:
Zorgt voor drukregeling en stroombewaking voor speciale gasbronnen (giftige, ontvlambare, reactieve, corrosieve gassen) en kan gascilinders vervangen.
Locatie: Gelegen op de sub-fab verdieping of de onderste verdieping voor de opslag van speciale gassen Bron: NF3, SF6, WF6, etc.
Pijpleidingafmetingen: Interne gasleiding, over het algemeen 1/4 inch voor procesleidingen, 1/4-3/8 inch voornamelijk voor leidingen voor zuivering van stikstof met hoge zuiverheid.
Belangrijkste producten: Membraanafsluiters met hoge zuiverheid, terugslagkleppen, drukmeters, drukmeters, connectoren met hoge zuiverheid (VCR, lasvorm). Deze gaskasten bevatten in principe automatische schakelmogelijkheden voor cilinders om een continue gastoevoer en veilige vervanging van cilinders te garanderen.
4. Distributie Definitie:
Aansluiten van de gasbron op de gasverzamelspiraal
Leidinggrootte: In de chipfabriek varieert de grootte van de bulkgasdistributieleiding over het algemeen van 1/2 inch tot 2 inch.
Verbindingsvorm: Speciale gasleidingen worden over het algemeen verbonden door middel van lassen, zonder enige mechanische verbinding of andere bewegende delen, vooral omdat de lasverbinding een hoge afdichtingsbetrouwbaarheid heeft.
In een chipfabriek zijn honderden kilometers aan buizen verbonden om gas te transporteren. Deze buizen zijn in principe zo'n zes meter lang en aan elkaar gelast. Ook bochten in de buizen en lasverbindingen komen veel voor.
5. Multifunctionele kleppenkast (Valve Manifold Box, VMB) Definitie:
Het doel is om speciale gassen van de gasbron naar verschillende apparatuuruiteinden te distribueren.
Interne leidingdiameter: 1/4 inch procesleiding en 1/4 - 3/8 inch purgeleiding. Het systeem kan computergestuurd zijn om bediende kleppen of goedkopere situaties met handbediende kleppen te vereisen.
Systeemproducten: membraanafsluiters/balgafsluiters met hoge zuiverheid, terugslagkleppen, verbindingen met hoge zuiverheid (VCR, microlasvorm), drukregelventielen, drukmeters en manometers, enz. Voor de distributie van sommige inerte gassen wordt voornamelijk het Valve Manifold Panel - VMP (multi-function valve disc) gebruikt, dat een open gasschijfoppervlak heeft en geen gesloten ruimteontwerp en extra stikstofspoeling vereist.
6. Secundaire klepplaat/-kast (gereedschapsaansluitpaneel) Definitie:
Sluit het gas dat de halfgeleiderapparatuur nodig heeft aan van de gasbron naar de apparatuurzijde en zorg voor de bijbehorende drukregeling. Dit paneel is een gasregelsysteem dat dichter bij de apparatuurzijde staat dan de VMB (multifunctional valve box).
Gasleidingmaat: 1/4 - 3/8 inch
Vloeistofleidingmaat: 1/2 - 1 inch
Afmeting afvoerleiding: 1/2 - 1 inch
Belangrijkste producten: membraanafsluiters/balgafsluiters, terugslagkleppen, drukregelkleppen, manometers, manometers, verbindingen met hoge zuiverheid (VCR, microlassen), ferrule-verbindingen, kogelkranen, slangen, enz.
Plaatsingstijd: 22-11-2024